主要应用于TFT-LCD、IPS、LTPS、OLED等显示面板行业,针对制程当中发光区域内产生的亮点、灰亮点、亮线不良进行镭射修复。整个修复过程是通过高清像素CCD自动定位,拍照取像分析,给出不良点坐标,然后计算机根据指令将修复用的镭射镜头移动到位,自动识别出不良点的形状大小,激光会做出不同方式的维修。详见如下图解:
超快激光亮点修复特点:可以直接针对一个pixel里的异物亮点进行单独暗 化修复,而不影响周围区域发光。
如下图所示:
主要应用于TFT-LCD、IPS、LTPS、OLED等显示面板行业,针对制程当中发光区域内产生的亮点、灰亮点、亮线不良进行镭射修复。整个修复过程是通过高清像素CCD自动定位,拍照取像分析,给出不良点坐标,然后计算机根据指令将修复用的镭射镜头移动到位,自动识别出不良点的形状大小,激光会做出不同方式的维修。
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设备主要技术参数表
项目 |
主要参数 |
备注 |
镭 射 系 统 |
激光类型:超短脉冲 PS LASER |
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型号:DY LASER-100W |
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波长:1040nm/515nm/343nm IR/GR/UV(波长可选配) |
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频率:0-1MHz |
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最大能量输出:10uj |
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输出参量稳定性:±10% |
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光斑大小:正方型/长方/90度旋转可调 |
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最小光斑:2.5um*2.5um(50倍物镜状态下) |
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光斑尺寸调节范围:50X MAX-24um*24um Min-2.5um*2.5um 20X MAX-60um*60um MAX-3um*3um |
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显 微 成 像 系 统 |
型号:ewin lens - 5 |
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成像透镜:IR/GR/UV增透膜 |
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物镜:5X(APO)、10X(APO)、20X(NIR)、20X(NUV) 50X (NIR) |
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物镜切换:电动 |
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CCD像素:50万dP和1200万取像 |
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显示器:17寸 1920*1080 |
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图像采集卡品牌及型号 :麦恩 |
机 架 结 构 |
材料:钣金钢架 |
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外观尺寸:L1600mm*W1600mm*H1800mm |
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工作台尺寸:550mm*400mm |
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XY轴行程:600mm*500mm |
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Z轴行程:200mm |
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XYZ轴移动速度:高速≥10mm/s 低速:2mm/s 手动微调:0.25mm/260度 |
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XYZ轴移动精度:±0.02mm |
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XYZ轴微调部分:脉冲手摇轮 |
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平台表面:垫高强度玻璃 |
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XY马达:直线电机 |
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Z轴马达:直线电机 |
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Z轴导轨:无油导轨 |
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运动控制卡品牌及型号:固高 |
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导轨丝杆品牌型号:台湾上银 V15型P级WIWIN双导轨滚珠丝杆 |
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外观油漆着色:乳白色 光油(无尘型) |
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悬梁架构:钢铁钣金焊接合成,单板厚度:12mm |
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显示器固定座 :可调节前后摆动 |
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减震:大理石+自动平衡 气压规格:0.8MPA |
软 体 系 统 |
控制功能: 1.激光能量、频率、波长切换、光斑大小调节及储存 2.工作台移动、加工状态参数显示 3.显微镜头切换控制 4.储存200种加工用参数 5.任意图形暗化设定 6.电脑: 技嘉主板 硬盘540G 4G内存 intel CPU E5200 |
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电 气 部 分 |
操作键盘功能: 1.5个显微镜头切换按键 2.快慢4挡位切换 3.XYZ轴粗调、微调 4.照准光源亮度调节 5.启动电源开关 6.启动按钮 7.激光能量补尝旋钮(带有保护盖) 8.急停开关
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带有安全断电光 |
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正门右上方异常急停开关及报警灯 |
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输入电源:单相交流220V 50-60Hz 10A |
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